半導體烘箱的潔凈與安全設計

昊陽制造

半導體烘箱的潔凈與安全設計
高精度溫度控制  
采用PID智能溫控系統(tǒng)，溫度控制精度可達±0.5℃，均勻性±1℃，滿足不同材料的工藝需求。例如，光刻膠固化需嚴格遵循預設溫度曲線，避免局部過熱導致圖案變形。  
真空與無氧環(huán)境  
真空系統(tǒng)：通過抽真空降低水分沸點，實現(xiàn)低溫高效干燥，避免高溫損傷晶圓。例如，在真空環(huán)境下，水在幾十攝氏度即可沸騰蒸發(fā)。  
惰性氣體保護：充入高純度氮氣等惰性氣體，防止材料氧化。例如，HMDS預處理真空烘箱通過氮氣吹掃，確保HMDS與晶片表面反應純凈，提升光刻膠附著力。  
均勻熱分布  
優(yōu)化加熱結(jié)構(gòu)和氣流循環(huán)系統(tǒng)，實現(xiàn)腔體內(nèi)溫度均勻性。例如，高容量水平空氣再循環(huán)系統(tǒng)可確保整個烘烤空間溫度偏差控制在±1℃以內(nèi)，避免晶圓內(nèi)部產(chǎn)生應力。  
潔凈與安全設計  
無塵結(jié)構(gòu)：采用高效過濾器、不銹鋼內(nèi)膽等設計，防止外部塵埃進入，滿足半導體無塵車間要求。  
安全防護：配備超溫保護、過載保護、防爆設計等，確保操作安全。例如，HMDS真空烘箱采用密閉式設計，防止有毒氣體泄漏，保障人員健康。  
節(jié)能與環(huán)保  
采用高效保溫材料和節(jié)能型加熱元件，降低能耗。例如，硅酸鋁纖維填充外殼，減少熱量散失，降低運行成本。

二的大寫

我很欣賞你的研究方式，幫助我了解得更透徹。

周五起不來

受教了，很有幫助