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標(biāo)題: 離子濺射儀的維護(hù)與保養(yǎng)方法 [打印本頁(yè)]

作者: sgqt    時(shí)間: 2024-9-6 15:08
標(biāo)題: 離子濺射儀的維護(hù)與保養(yǎng)方法
  離子濺射儀是一種緊湊的臺(tái)式涂層系統(tǒng),特別適用于掃描電子顯微鏡成像中非導(dǎo)電樣品的高質(zhì)量涂層。樣品的干燥和清潔是離子濺射涂層的基本要求。如有必要,應(yīng)在交換樣品和陰極的位置用火花放電清潔樣品表面,然后在濺射涂層前恢復(fù)樣品。鐵、鎳、銅和鉛通常用作離子濺射儀器的陰極材料。
  離子濺射儀的維護(hù)與保養(yǎng)方法:
  在掃描電子顯微鏡的樣品預(yù)處理中,在樣品表面鍍金和提高樣品的導(dǎo)電性是離子濺射儀的主要用途。多年來(lái),經(jīng)常出現(xiàn)無(wú)法正常鍍金的錯(cuò)誤報(bào)告,需要進(jìn)行維護(hù)。

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  1、調(diào)整真空度
  如果樣本倉(cāng)內(nèi)壁清潔后仍報(bào)告錯(cuò)誤,請(qǐng)注意儀器的真空度。通常,鍍金過(guò)程中腔室中的壓力為7Pa。當(dāng)壓力保持在6Pa或更低時(shí),很容易報(bào)告錯(cuò)誤。將樣品放置到位,蓋上樣品箱,啟動(dòng)鍍金程序,觀察儀表板上的壓力變化。
  當(dāng)儀器前面的第二個(gè)指示燈(調(diào)整真空度)閃爍時(shí),調(diào)整下面的旋鈕。當(dāng)它順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),壓力會(huì)增加,當(dāng)它逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)壓力會(huì)降低。根據(jù)需要小心地將其調(diào)節(jié)至約7Pa,以便儀器能夠正常電鍍。
  2、清潔樣本箱
  儀器使用過(guò)程中,樣品倉(cāng)內(nèi)壁會(huì)有污染物沉積。通常使用前會(huì)用干凈的布或紙擦拭,然后用耳球吹。當(dāng)儀器長(zhǎng)時(shí)間使用時(shí),會(huì)有許多金顆粒附著在內(nèi)壁的下邊緣,這很難擦除??梢栽跇悠穫}(cāng)中涂上金屬拋光膏,然后用紙反復(fù)擦拭,這樣更容易清潔,然后用酒精清洗。


作者: 軟軟小團(tuán)子    時(shí)間: 2024-9-11 21:40
感謝分享,這對(duì)我很有幫助。
作者: 過(guò)往云煙    時(shí)間: 2024-9-18 15:07
樓上,邏輯嚴(yán)密,論據(jù)充實(shí),學(xué)習(xí)!
作者: 飄搖a    時(shí)間: 2024-9-18 22:01
謝謝你的解答,我的問(wèn)題已經(jīng)得到了解決。




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