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電子顯微鏡（Electron Microscope）是一種利用電子束作為光源，通過電子與樣品相互作用來獲取樣品表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)高分辨率成像的設(shè)備。它主要包括透射電子顯微鏡（TEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）等類型。TEM的工作原理是，將電子束照射到超薄樣品上，電子束穿過樣品后，由于樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)和組成不同，電子束會發(fā)生不同程度的散射和吸收，從而形成帶有樣品信息的透射電子。這些透射電子被磁透鏡系統(tǒng)聚焦并放大，最終在熒光屏或檢測器上形成圖像。TEM具有極高的分辨率，能夠達到原子級別，適用于觀察材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。SEM的工作原理則不同，它將電子束聚焦成極細(xì)的探針，以光柵掃描方式逐行掃描樣品表面。當(dāng)電子束轟擊樣品時，會激發(fā)出二次電子、背散射電子和特征X射線等信號。這些信號被不同的探測器收集，經(jīng)過處理后形成反映樣品表面形貌、成分和晶體取向等信息的圖像。SEM對樣品表面的微觀形貌有立體感強的成像效果，且制樣要求相對簡單。