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標題: 半導體烘箱的潔凈與安全設(shè)計 [打印本頁]

作者: 昊陽制造 時間: 2025-7-23 17:46
標題: 半導體烘箱的潔凈與安全設(shè)計
半導體烘箱的潔凈與安全設(shè)計
高精度溫度控制
采用PID智能溫控系統(tǒng)，溫度控制精度可達±0.5℃，均勻性±1℃，滿足不同材料的工藝需求。例如，光刻膠固化需嚴格遵循預設(shè)溫度曲線，避免局部過熱導致圖案變形。
真空與無氧環(huán)境
真空系統(tǒng)：通過抽真空降低水分沸點，實現(xiàn)低溫高效干燥，避免高溫損傷晶圓。例如，在真空環(huán)境下，水在幾十攝氏度即可沸騰蒸發(fā)。
惰性氣體保護：充入高純度氮氣等惰性氣體，防止材料氧化。例如，HMDS預處理真空烘箱通過氮氣吹掃，確保HMDS與晶片表面反應(yīng)純凈，提升光刻膠附著力。
均勻熱分布
優(yōu)化加熱結(jié)構(gòu)和氣流循環(huán)系統(tǒng)，實現(xiàn)腔體內(nèi)溫度均勻性。例如，高容量水平空氣再循環(huán)系統(tǒng)可確保整個烘烤空間溫度偏差控制在±1℃以內(nèi)，避免晶圓內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力。
潔凈與安全設(shè)計
無塵結(jié)構(gòu)：采用高效過濾器、不銹鋼內(nèi)膽等設(shè)計，防止外部塵埃進入，滿足半導體無塵車間要求。
安全防護：配備超溫保護、過載保護、防爆設(shè)計等，確保操作安全。例如，HMDS真空烘箱采用密閉式設(shè)計，防止有毒氣體泄漏，保障人員健康。
節(jié)能與環(huán)保
采用高效保溫材料和節(jié)能型加熱元件，降低能耗。例如，硅酸鋁纖維填充外殼，減少熱量散失，降低運行成本。

作者: 二的大寫 時間: 2025-11-18 07:21
我很欣賞你的研究方式，幫助我了解得更透徹。

作者: 周五起不來 時間: 昨天 21:25
受教了，很有幫助

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