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標(biāo)題: 光刻機(jī)是什么東西？ [打印本頁(yè)]

作者: 礦西科技 時(shí)間: 2025-3-27 14:03
標(biāo)題: 光刻機(jī)是什么東西？
光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中的核心設(shè)備，用于將設(shè)計(jì)圖案精確地轉(zhuǎn)移到硅片上。以下是對(duì)光刻機(jī)的詳細(xì)介紹：
工作原理：
光刻機(jī)利用紫外光通過包含目標(biāo)圖案信息的掩模版照射到基底表面，使基底表面的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。被光線照射到的光刻膠部分會(huì)發(fā)生反應(yīng)，在顯影后與未被照到的區(qū)域產(chǎn)生不同的效果，從而形成所需的電路圖形。
主要分類：
按用途分：有用于生產(chǎn)芯片、用于封裝和用于LED制造等類型。
按光源分：可分為紫外光源（UV）、深紫外光源(DUV)、極紫外光源（EUV）光刻機(jī)。極紫外光源波長(zhǎng)更短，能實(shí)現(xiàn)更高的分辨率和更小的制程。
按操作方式分：包括接觸式光刻、直寫式光刻、投影式光刻等。其中投影式光刻又分為掃描投影光刻、步進(jìn)重復(fù)投影光刻和掃描步進(jìn)投影光刻等。
結(jié)構(gòu)組成：
主要由光源系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、投影系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、機(jī)械系統(tǒng)等部分組成。光源系統(tǒng)負(fù)責(zé)產(chǎn)生高強(qiáng)度、高穩(wěn)定性的激光光束；光學(xué)系統(tǒng)將激光光束精準(zhǔn)聚焦于硅片之上；投影系統(tǒng)將光罩上的精細(xì)圖形精確投影至硅片之上；對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)確保光罩與硅片之間的精確對(duì)齊；機(jī)械系統(tǒng)則提供穩(wěn)固的結(jié)構(gòu)支撐和精確的運(yùn)動(dòng)控制。
光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵設(shè)備，其工作原理基于光刻膠的光化學(xué)反應(yīng)，通過不同分類和精密結(jié)構(gòu)組件協(xié)同工作，實(shí)現(xiàn)高精度的圖案轉(zhuǎn)移，對(duì)集成電路的發(fā)展至關(guān)重要。

作者: mthl05 時(shí)間: 2025-12-7 06:15
這帖子真不錯(cuò)，感謝分享！

作者: 淡彩流年 時(shí)間: 6 天前
謝謝樓主，這個(gè)帖子對(duì)我?guī)椭艽蟆?hr noshade size="2" width="100%" color="#808080"> 作者: ke0906 時(shí)間: 4 天前
這個(gè)帖子讓我學(xué)到了不少新知識(shí)，太有用了！

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